И дветеВакуумска пумпа и компресорсе уреди за обработка на гас, но нивните работни принципи и обемот на примена се различни.
Главната функција на вакуумската пумпа е да се отстрани гасот од комората на реакција за да се намали притисокот во садот за да се постигне однапред утврден вакуумски степен. Гасот е извлечен од просторот преку механизмот на вшмукување и издувни гасови за да се формира вакуумска состојба. Вакуумските пумпи обично се користат во лаборатории, полиња за производство и производство. Кај нафтаните фабрики, опрема за гравирање, опрема за таложење, опрема за литографија на ЕУВ, опрема за јонска имплантација, опрема за откривање и карактеризација, итн. Сите треба да бидат вакумирани.
Функцијата на компресорот е да го вдишува гас и да го компресира, да го зголеми притисокот на гасот, да го компресира гасот во помал волумен и да ја зголеми густината и притисокот на гасот. Неговиот принцип на работа е да го компресира гасот преку издувниот вентил, а потоа да го стави компресираниот гас во резервоар за гас или друга опрема. Компресорите обично се користат во полињата за преработка и производство. ЦДА гасот за кој често зборуваме е обезбеден од компресорот. ЦДА се користи за контрола на различна опрема за автоматизација и вентили. За производство на полупроводници, ЦДА мора да биде многу чиста и сува. Излезот на воздухот од страна на компресорот треба да помине низ софистициран систем на филтрација за да се отстрани маслото, влагата и другите честички за да се обезбеди дека нема загадување на нафтата.
Кои се категориите наВакуумска пумпа и компресор?
Во полупроводничка опрема, најчесто се користат суви пумпи и молекуларни пумпи. Сувата пумпа се однесува на вакуумска пумпа што не користи никаква течност како медиум за запечатување или ладење, избегнувајќи го проблемот со загадување на пареата на нафтата. Општо се користи за груба вакуумска екстракција на опрема за полупроводници. Молекуларните пумпи можат да постигнат екстремно високи нивоа на вакуум. Сувите пумпи и молекуларните пумпи често се користат во комбинација во полупроводничка опрема за да се задоволат потребите на различно ниво на вакуум.
Компресорите можат да се поделат на клип, завртка, центрифугални, ротирачки компресори на воздухот, итн.
Поради различните дизајни и работните принципи на вакуумската пумпа и компресорот, вакуумските пумпи обично не можат да ги заменат компресорите. Иако вакуумските пумпи можат да го намалат притисокот и густината на гасовите, тие не можат да компресираат гасови во помали количини и поголеми притисоци. Покрај тоа, поради ограничените перформанси и работните карактеристики на вакуумските пумпи, тие се најпогодни за ракување со гасови со мала густина и околини со низок притисок.
Затоа, ако гасот треба да се компресира во помал волумен и поголем притисок, треба да се користи компресор. Напротив, ако гасот треба да се извлече и да се формира вакуумска состојба, треба да се користи вакуумска пумпа.
Иако и двајцатаВакуумска пумпа и компресорсе уреди што се користат за обработка на гас, постојат големи разлики во принципот на дизајнирање и работење. Иако вакуумската пумпа може да го намали притисокот и густината на гасот, таа не може да го замени компресорот, особено кога гасот треба да се компресира во помал волумен и поголем притисок.
